Кафедра ФКС

Сотрудники

Научная работа

Учебная работа

Объявления и новости

 

 

 

 

 

 

 

 

 

СЕКТОР ФИЗИКИ И ТЕХНОЛОГИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК И НАНОСТРУКТУР (стр.3)

Процесс планаризации многоуровневой разводки СБИС:

Основные публикации:

1.      Васильев В. А., Серегин Д. С., Воротилов К. А. Золь-гель метод формирования мезапористых силикатов для систем многоуровневой разводки СБИС и МЭМС-технологии // Наукоемкие технологии. – 2009. - № 11. - С. 48-56.

2.      Васильев В.А., Серегин Д.С., Воротилов К.А. Гибридные пористые силикатные пленки с управляемой наноструктурой // Нано- и микросистемная техника. – 2007. - № 12(89). - С. 23-28.

3.      В.А. Васильев, К.А. Воротилов, А.С. Сигов, А.С. Валеев, В.И. Шишко, Ч.П. Волк, Е.П. Ковсман. Изолирующие слои многоуровневой разводки интегральных схем с низкой диэлектрической проницаемостью // Электронная промышленность. N4. 2004. C.145-154. [9-2004.pdf, 956кБ].

4.      Vorotilov K.A., Petrovsky V.I., Vasiljev V.A., Sobolevsky M.V., Valeev A.S. ORMOSILS films: properties and microelectronic applications // J. Sol-Gel Science and Technology. - 1997. - V. 8. - P. 581-584. [8-1997.pdf, 99кБ]

5.      Vorotilov K.A., Vasiljev V.A., Sobolevsky M.V., Afanasyeva N.I. Structure, properties and applications of phenylmodified silicate films // Thin Solid Films. - 1996. - V. 288. - N 1-2. - P. 57-63. [7-1996.pdf , 948кБ]

 

на 1-ю страницу

Корпус В, комната В-222

тел: (095)-434-93-47

 

 

Учебно-научные центры и лаборатории кафедры ФКС

 

 

 

 

Кафедра ФКС

Сотрудники

Научная работа

Учебная работа

Объявления и новости

 

 

 

Главная страница МИРЭА