Кафедра ФКС

Сотрудники

Научная работа

Учебная работа

Объявления и новости

 

 

 

 

 

 

 

 

 

СЕКТОР ФИЗИКИ И ТЕХНОЛОГИИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ТОНКИХ ПЛЕНОК И НАНОСТРУКТУР

Руководитель сектора – д.т.н., проф. Воротилов К.А.

Направление I: Сегнетоэлектрические тонкие пленки и наноструктуры для применений в устройствах электроники

Разработана технология формирования многокомпонентных сегнетоэлектрических оксидов в виде пленок толщиной 50-1000 нм, а также методы создания многослойных гетероструктур на их основе и методы контроля электрических и оптических (нелинейно-оптических) свойств пленок. Разработан метод химического осаждения из растворов металлорганических соединений, обеспечивающий высокую степень чистоты и гомогенность при получении любых сложных многокомпонентных оксидов с заданным соотношением элементов:

·        цирконат-титанат свинца (ЦТС) Pb(ZrxTi1-x)O3

·        титанат бария-стронция (ТБС) Ba1‑xSrxTiO3

·        танталат висмута стронция (ТВС) SrBi2Ta2O9

 

На основе этого метода разработан способ формирования уникальных
пористых мембран с нанометровыми размерами пор, заполненных активным диэлектриком

Направление II: Новый класс нанокомпозитных материалов

Разработан новый метод получения нанокомпозитных материалов в виде пленок толщиной 0,05-2,0 мкм. Метод основан на осаждении из растворов металлорганических соединений (золь-гель технология) и позволяет получать новые типы материалов с уникальными физико-химическими свойствами:

·        Неорганически - органические композиты. Этот тип материалов, который может быть получен исключительно золь-гель методом, представляет собой неорганическую матрицу, образованную металл - кислородным каркасом с включением органических полимеров. Такой подход позволяет создавать новые классы материалов с возможностью регулирования в широком диапазоне их физических свойств, сочетая свойства неорганической матрицы (температурная стойкость, твердость и пр.) и органических включений (пластичность, оптические, диэлектрические свойства и пр.). Примером неорганически - органических композитов являются органически - модифицированные силикаты, разработанные в МИРЭА и внедренные в промышленность (процесс планаризации многоуровневой разводки СБИС).

·        Нанопористые материалы. Нанопористые материалы также могут быть получены только с помощью данной технологии. Пористость таких материалов составляет 20-50% при размере пор 1 – 100 нм. Материалы обладают низкой величиной показателя преломления (1,1 - 1,3), диэлектрической проницаемости (1,5 – 2,8).

Корпус В, комната В-222

тел: (095)-434-93-47

 

Учебно-научные центры и лаборатории кафедры ФКС

 

 

 

 

Кафедра ФКС

Сотрудники

Научная работа

Учебная работа

Объявления и новости

 

 

 

Главная страница МИРЭА